硅烷半導體 | 硅烷中的雜質分析Ldetek氣相色譜儀應用

硅烷資訊

硅烷

一、硅烷概述

電子級硅烷氣，作為一種電子特種氣體，主要通過硅粉、氫氣、四氯化硅及催化劑等原料的反應與提純過程制得。當硅烷的純度達到6N（即99.9999%）以上時，便被稱為電子級硅烷氣。這一物質*早由德國化學家H.Buff于1857年發(fā)現(xiàn)，但由于缺乏實際應用場景，在接下來的一個世紀里，硅烷主要作為實驗室研究對象存在，并未實現(xiàn)商業(yè)化應用。直到20世紀50年代，隨著半導體產(chǎn)業(yè)及光伏產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，硅烷的商業(yè)價值才逐漸顯現(xiàn)。

在電子級硅烷氣的生產(chǎn)過程中，原料的純度和質量對*終產(chǎn)品的質量具有決定性影響。因此，生產(chǎn)過程需要高度的技術水平和嚴格的工藝流程控制。電子級硅烷氣廣泛應用于半導體制造、太陽能電池、顯示面板等領域，并隨著技術進步不斷拓展至新能源電池等新興領域。在新材料領域，電子級硅烷作為高純度硅源直接使用，單位用量遠超傳統(tǒng)領域。目前，我國電子級硅烷氣的年產(chǎn)量約為7986噸。硅烷中的雜質分析Ldetek氣相色譜儀應用

二、硅烷半導體介紹

硅烷半導體，由硅和氫原子組成，是已知*穩(wěn)定的化合物半導體之一。其結構簡單、穩(wěn)定性強且成本效益高，因此成為電子應用領域的理想選擇，廣泛應用于晶體管、存儲芯片、集成電路、光電探測器和太陽能電池等領域。

在硅烷半導體的制造領域，**的制造商形成了一個相對較小但享有盛譽的集團。其中，英特爾、雷薩科技和德州儀器在生產(chǎn)硅烷半導體**產(chǎn)品方面處于**地位。此外，KLA、AMD和3M等電子公司也成功應用了硅烷半導體技術。

三、硅烷中雜質分析檢測方案

為了準確分析硅烷中的雜質，我們采用Ldetek氣相色譜儀進行檢測。以下是具體的檢測方案：

檢測儀器：使用MultiDetek3對高純度硅烷進行檢測分析。硅烷中的雜質分析Ldetek氣相色譜儀應用
測量范圍與靈敏度：硅烷中的雜質樣品氣體（如H2、Ar+O2、N2、CH4、CO2、C2H6、C3H8、SiCl4、SiH2Cl2、SiH2Si2、SiH3Cl等）的測量范圍為0-10ppm，檢測下限（LDL）為5-10ppb。通過安裝等離子發(fā)射檢測器（PED）在氣相色譜中，并以氦氣為載氣，可以**測量硅烷中的ppb級雜質。
**配置：由于硅烷高度易燃，我們的色譜儀配備了特殊的進樣系統(tǒng)氣路配置。整個進樣系統(tǒng)被設置在吹掃箱中，用大量氦氣進行吹掃，確保樣品不與周圍空氣接觸。同時，選擇閥*大限度地減少了硅烷進入進樣閥和樣品回路的時間。在色譜軟件中設置了分析程序，確保在程序運行過程中大部分時間進樣系統(tǒng)都被氦氣吹掃保護。
檢測結果與優(yōu)勢：該解決方案為GC提供了更高的**級別，并延長了系統(tǒng)使用壽命。檢測結果包括一系列色譜圖（跨度校準）以及檢測限、重復性和線性等關鍵指標。Ldetek的高純硅烷分析方案充分展示了PED等離子發(fā)射色譜法的優(yōu)點，具有高靈敏度、多功能性、低采購成本和維護成本以及更高的氣密性和**性等優(yōu)勢.