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ADEV微量氧分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的校準(zhǔn)應(yīng)用|埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備(上海)有限公司

ADEV微量氧分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的校準(zhǔn)應(yīng)用

一、引言

在半導(dǎo)體行業(yè)中,氣體的純凈度對于產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性至關(guān)重要。其中,微量氧氣的存在可能會對半導(dǎo)體材料的性質(zhì)和性能產(chǎn)生重大影響。因此,**測量氣體中的微量氧含量成為半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的重要環(huán)節(jié)。ADEV微量氧分析儀正是為滿足這一需求而設(shè)計的高精度儀器。為確保其測量準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性,定期的校準(zhǔn)工作不可或缺。ADEV微量氧分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的校準(zhǔn)應(yīng)用

二、校準(zhǔn)內(nèi)容

  1. 濃度零點(diǎn)校準(zhǔn):
    • 微量氧分析儀的濃度零點(diǎn)是其測量的下限,一般情況下默認(rèn)為00.1ppm。實際上,**的0是很難達(dá)到的,因此通常采用濃度非常低的氣體作為標(biāo)準(zhǔn)。
    • 在校準(zhǔn)過程中,采用高純氬或高純氮,其氧濃度小于1.0PPM,作為濃度零點(diǎn)氣。
    • 通入微量氧分析儀中,調(diào)整濃度零點(diǎn)到00.1PPM。ADEV微量氧分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的校準(zhǔn)應(yīng)用
  2. 濃度量程校準(zhǔn):
    • 微量氧分析儀的濃度量程是其測量的上限,一般默認(rèn)為21.0%(空氣)。
    • 量程與零點(diǎn)的差異越小,儀器的線性度越好。用戶可以根據(jù)自己的工況來確定合適的濃度量程。
    • 通入微量氧分析儀中,調(diào)整濃度量程到需要的示數(shù)。

三、誤差范圍與校準(zhǔn)重要性ADEV微量氧分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的校準(zhǔn)應(yīng)用

微量氧分析儀的誤差范圍是指在特定工作條件下,其測量值與實際值之間的*大允許偏差。為確保微量氧分析儀的準(zhǔn)確性和可靠性,必須注意其正確安裝和使用,并定期進(jìn)行校準(zhǔn)和調(diào)整。特別是在半導(dǎo)體行業(yè),對氣體純度的要求極為嚴(yán)格,任何微小的誤差都可能導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量的下降或生產(chǎn)工藝的不穩(wěn)定。

四、結(jié)論

ADEV微量氧分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用中,不僅提供了高精度的測量,而且通過定期的校準(zhǔn),確保了測量結(jié)果的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。這對于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的質(zhì)量控制和工藝穩(wěn)定性至關(guān)重要。通過本文介紹的校準(zhǔn)方法,用戶可以輕松地完成儀器的校準(zhǔn)工作,為半導(dǎo)體的生產(chǎn)提供可靠的數(shù)據(jù)支持。

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