Teledyne便攜式真空計HPM456校準裝置總代理哪家
便攜式真空計校準裝置主要由校準室、抽氣系統(tǒng)和進氣系統(tǒng)三部分組成。整體尺寸為450mm×400mm×750mm，總重量不到40kg。該裝置的外形如圖1所示。 便攜式真空計校準裝置的原理和結構如圖2所示，RP為機械泵。TMP是分子泵；VC1是校準室；VC2是調壓室；C1、C2和C3分別為直徑約為0.02、0.1和11毫米的孔隙；V1和V10是截止閥；V2是全金屬角閥；V3、V4、V5、V6為波紋管截止閥；V7和V9是球閥；V11是標準容積的閥門；G1和G4在監(jiān)控真空表；G2和G3是全量程為133，1.33× 105 Pa的電容式薄膜真空計。Teledyne便攜式真空計HPM456校準裝置總代理哪家 1.校準室 校準室VC1是一個直徑為200 mm的球形容器。球形結構是真空計量標準的理想結構，氣體分子可以很容易地均勻分布在球體中。五個CF35法蘭和兩個8VCR接口設計在校準室的赤道上，用于安裝被校準的真空計和參考標準。校準室和法蘭采用SUS316L鋼，內表面經過電解拋光和化學清洗，并通過高溫脫氣去除材料內部的氣體。美國INFICON公司生產的電容薄膜真空計G2和G3安裝在校準室內作為參考標準。Teledyne便攜式真空計HPM456校準裝置總代理哪家 2.抽氣系統(tǒng) 泵送系統(tǒng)由主泵分子泵TMP、機械泵RP、全金屬角閥V2、旁通泵送閥V3、孔板C3和閥V10組成。氮氣分子泵的標稱抽速為80L/s，通過一個全金屬角閥與校準室相連。在全金屬角閥和校準室之間，安裝一個直徑約為11mm的圓形薄壁限流抽氣孔C3，其對氮氣的電導約為10 L/s。分子泵的前級采用一個標稱抽速為2L/s的機械泵，在機械泵和分子泵之間安裝一個電磁隔離閥V1，用于在旁通排氣閥V3打開時隔離分子泵和機械泵。Teledyne便攜式真空計HPM456校準裝置總代理哪家 3.進氣系統(tǒng) 進氣系統(tǒng)主要由穩(wěn)壓室VC2、閥門V5、V6、V7、V8和V11以及小孔C1和C2組成，其中閥門V7與氣源相連。穩(wěn)壓室VC2是一個容積為2L的不銹鋼容器，上面裝有皮拉尼真空計G1。用靜態(tài)比較法和靜態(tài)膨脹法標定時，關閉閥門V8和V9，然后通過V7和V5(或V6)直接通入空氣；用動態(tài)流量法標定時，通過閥門V7和V8向VC2通入一定壓力的氣體，然后關閉V7，打開V5(或V6)，再通過V8調節(jié)從VC2通入VC1的氣體壓力。
通用 200系列質量流量計和控制器規(guī)格(基于氮氣)；標準溫度和壓力-0℃和760托 通用氣體流量計和控制器 流速范圍從0-10 sccm到0-500 slm。 ？大流量可達15,000 slm。 ？* *緊密度 ？包括模擬輸出 ？不銹鋼材料 ？常閉控制閥 [氣體流量計] HFM 200 (0-10 sccm至0-25，000 sccm) HFM 201 (0-25 slm至0-500 slm) HFM 200與LFE (0-25 slm至0-15，000 slm) [氣體流量控制器] HFC 202 (0-10 sccm至0-25，000 sccm) HFC 203 (0-25 slm至0-500 slm) HFM 200與LFE (0-25 slm至0-15，000 slm) 200系列 [流量計和控制器] 快速響應，低壓降 300系列質量流量計和控制器規(guī)格(基于氮氣)；標準溫度和壓力-0℃和760托 通用氣體流量計和控制器 高響應、低壓降型 流速范圍從0-5 sccm到8000 slm。 ？金屬密封件 ？包括模擬輸出 ？不銹鋼材料 ？常閉控制閥 [氣體流量計] HFM 300 (0-5 sccm至0-25，000 sccm) HFM 301 (0-25 slm至0-1000 slm) HFM 305 (0-1000 slm至0-3000 SLM) HFM 306 (0-2500 slm至0-8000 SLM) [氣體流量控制器] 氫氟碳化合物302 (0-5 sccm至0-25，000 sccm) HFC 303 (0-25 slm至0-1000 slm) HFC 307 (0-1000 slm至0-3，000 slm) 300系列 [流量計和控制器] 數字、快速響應、低壓降 300-D系列質量流量計和控制器規(guī)范(基于氮氣)；標準溫度和壓力-0℃和760托 數字、高響應、低壓差型 流速范圍從0-5 sccm到8000 slm。 ？金屬密封件 ？** ？或RS485輸出。 ？模擬輸出 [氣體流量計] HFM-D-300 (0-5 sccm至0-25，000 sccm) HFM-D-301 (0-25 slm至0-1000 slm) HFM-D-305 (0-1000 slm至0-3000 SLM) [氣體流量控制器] HFC-D-302 (0-5 sccm至0-25，000 sccm) HFC-D-303 (0-25 slm至0-1000 slm) HFC-D-307 (0-1000 slm至0-3，000 slm) 數字300系列 [流量計和控制器] 新型工業(yè)質量流量計 400-I系列質量流量計規(guī)格(基于氮氣)；標準溫度和壓力-0℃和760托 新產品-工業(yè)應用Teledyne便攜式真空計HPM456校準裝置總代理哪家 流量范圍從0-10 slm到0-2500 slm。 ？** ？或數字模擬輸出。 ？各種氣體的內置校正值 ？帶求和功能 ？適合在惡劣環(huán)境下工作。 ？它也可以與網絡接口一起使用。 [氣體流量計] HFM-I-401(0-10秒至0-350秒) HFM-I-405 (0-100 slm至0-2500 slm) 400系列 [質量流量計] 數字、快速響應、低壓降 電源和顯示器 高溫型 流量范圍包括 0-10 sccm至0-14000 slm ？高達200°C的高溫 ？不銹鋼材料 【THPS-100單通道】 目錄 操作指南 【THPS 400頻道4】 目錄 操作指南 NALL系列 PowerPods [流量計和控制器] 【電源和顯示】
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