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ADEV微量氧分析儀校準(zhǔn)方法檢定規(guī)程工作原理|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

ADEV微量氧分析儀校準(zhǔn)方法檢定規(guī)程工作原理

在空氣分離和電子芯片產(chǎn)品領(lǐng)域，高純氣體和電子氣體的純度非常重要，其中氧氣是重要的雜質(zhì)之一，其含量≤5μmol/mol。為了控制產(chǎn)品質(zhì)量，空分廠商和電子芯片廠商都配備了大量的微量氧分析儀來(lái)監(jiān)測(cè)高純氣體和電子氣體中的氧含量。通常來(lái)說(shuō)我們都會(huì)為您推薦ADEV微量氧分析儀。
為保證微量氧分析儀測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性，采用微量氧分析儀校準(zhǔn)裝置對(duì)微量氧分析儀進(jìn)行校準(zhǔn)，校準(zhǔn)依據(jù)為jjg945-2010微量氧分析儀。我院建立了微量氧分析儀校準(zhǔn)裝置并開展了校準(zhǔn)工作，有效保證了我省微量氧分析儀量值的溯源性和統(tǒng)一性。
微量氧分析儀根據(jù)使用場(chǎng)所的不同可以分為兩大類。一個(gè)安裝在實(shí)驗(yàn)室，檢測(cè)瓶裝高純氣體中的微量氧。一是安裝在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)管道上的微量氧分析儀，長(zhǎng)期連續(xù)監(jiān)測(cè)高純氣體中的微量氧含量。由于空氣中含有大量的氧氣，為了避免拆裝時(shí)空氣中的氧氣對(duì)管道的污染，空分和電子芯片廠家很難將這樣的微量氧分析儀送到計(jì)量院的實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行檢定，需要計(jì)量部門到現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行在線計(jì)量檢定。ADEV微量氧分析儀校準(zhǔn)方法檢定規(guī)程工作原理
目前，我國(guó)各測(cè)量單位使用的微量氧分析儀校準(zhǔn)裝置主要由氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、減壓閥、四通閥取樣裝置、管道等組成。該裝置固定在測(cè)試區(qū)域，不能移動(dòng)或拆卸，因此微量氧分析儀必須由客戶送到計(jì)量所進(jìn)行校準(zhǔn)，但在線微量氧分析儀很難開展校準(zhǔn)工作。
根據(jù)檢定規(guī)程的要求，使用的氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)包括零氣體、20% FS、50% FS和80% FS氮氧氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，分別引入微量氧分析儀進(jìn)行檢定。氧氣標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)1和氮?dú)庵械牧泓c(diǎn)氣體2經(jīng)過(guò)減壓閥3和調(diào)節(jié)閥4后連接到四通閥取樣裝置5，*后連接到微量氧分析儀6進(jìn)行檢測(cè)。檢定氣路連接示意圖見圖1。
四通閥取樣裝置只能接兩路氣體，檢定工作時(shí)始終有一路接零氣，需要反復(fù)更換20% FS、50% FS、80% FS氮氧標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。由于空氣中含氧量較高，每次更換氣標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)后，都要用氣標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)沖洗管道。吹掃系統(tǒng)使氧含量從21%平衡到10μmol/mol需要(1 ~ 2)小時(shí)，消耗大量氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，效率低，檢定成本高。因此，有必要開發(fā)一種新的采樣系統(tǒng)，以便于驗(yàn)證。ADEV微量氧分析儀校準(zhǔn)方法檢定規(guī)程工作原理

技術(shù)要素:
為了提高檢定效率，降低檢定成本，本發(fā)明提供了一種應(yīng)用于便攜式微量氧氣分析儀檢定校準(zhǔn)裝置。
本發(fā)明提供了一種便攜式微量氧氣分析儀校準(zhǔn)裝置，包括三個(gè)標(biāo)準(zhǔn)氣體供給裝置、零點(diǎn)氣體供給裝置、四通道采樣裝置和移動(dòng)平臺(tái)。
其中，四通道取樣裝置包括減壓閥、調(diào)節(jié)閥、四通閥、五通閥、脫氧管和不銹鋼管道；每個(gè)標(biāo)準(zhǔn)供氣裝置并聯(lián)后分別通過(guò)不銹鋼管道與五通閥連通，五通閥再與四通閥連通，零點(diǎn)供氣裝置串聯(lián)后依次與脫氧管和四通閥連通。ADEV微量氧分析儀校準(zhǔn)方法檢定規(guī)程工作原理
優(yōu)選地，零點(diǎn)供氣裝置通過(guò)不銹鋼管道依次與減壓閥和調(diào)節(jié)閥連接，兩個(gè)調(diào)節(jié)閥通過(guò)脫氧管連接，脫氧管另一端的調(diào)節(jié)閥與四通閥的零點(diǎn)進(jìn)氣口連接，即依次為零點(diǎn)供氣裝置-減壓閥-調(diào)節(jié)閥-脫氧管-調(diào)節(jié)閥-四通閥的零點(diǎn)進(jìn)氣口。
優(yōu)選地，三個(gè)標(biāo)準(zhǔn)氣體供應(yīng)裝置通過(guò)不銹鋼管與減壓閥和調(diào)節(jié)閥連接，減壓閥通過(guò)不銹鋼管與五通閥連接，五通閥的出氣端通過(guò)不銹鋼管與四通閥的標(biāo)準(zhǔn)氣體入口連接。


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